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半导体设备行业的骄傲 引领中国科技进军世界

每年5月30日是“全国科技工作者日”,在2019年“全国科技工作者日”来临之际,浦东科协将陆续为大家推出科技工作者的事迹,弘扬科技工作者们的拼搏精神。

王晖

日本大阪大学半导体设备及工艺的博士,曾在Quester Technology公司当任研发部经理,在CNS Technology为美国太空总署及国防部作项目研究员,并先后获得多项美国专利。现在,他是盛美半导体设备(上海)有限公司创始人、首席执行官——王晖。

本期先锋

科创:以退为进,将“小事”做到极致

2007年,王晖事业的主战场由硅谷正式转移到浦东张江。

当时国内的半导体产业链尚属萌芽状态,为了能与国内接轨,王晖做了一个“以退为进”的决定——暂时搁置手中最先进的技术,将盛美的技术方向定位于“单片清洗设备”方向,也就是给芯片上只有纳米级宽的导线“洗澡”。

据统计,半导体加工环节中超过三分之一工序是清洗,占设备销售市场的7-8%,全球销售额在三四十亿美金,并且随着节点尺度越小,清洗步骤越多,到1X纳米级别后,产品为了得到较高良率,几乎每步工序都离不开清洗。

看准了清洗这一基础环节的发展空间和价值,王晖决定将“小事做到极致”!

在他的带领下,盛美半导体开发了两项技术,成功解决了工业界清洗的难题,使我国将具有自主知识产权的高端12英寸半导体清洗设备首次销往海外市场,同时盛美也成为了国内最大单片清洗设备供应商

显然,王晖对将“小事做到极致”还有着更大的追求!

在今年,王晖博士又发布了其团队开发的三项新技术:

应用于40纳米、28纳米的节点上的多阳极局部电镀铜设备,目前该技术还在继续向更小的工艺节点推进。

在先进封装抛铜设备时,使得电抛光的化学液实现重复循环使用,目前只有盛美能够做到通过此技术节省80%以上的耗材费用。

Tahoe高温硫酸清洗设备通过节省化学液(最高可减少90%的硫酸使用量)大大减少了对环境的影响,这也是王晖带领团队的独家发明,属于全世界首台。

在王晖看来,面对全球化竞争,科创中心的可持续发展建设离不开“独家首创”的核心竞争力,盛美半导体如今已拥有完善的自主产权和相关专利,超过200项已获得授权。

先锋:千里马需伯乐识 盛美半导体成功美国上市

“科研路上并不是一帆风顺的”,王晖博士说,半导体行业是一个高风险高回报的行业,在初创期也是个“碎钞机”,从2007年正式开始做设备后的七年间投入了巨额资金,“最早在中国,是上海创投、张江集团、张江科投等,他们撑了我们一把,成为了主要投资方,而这一撑就是十年,感谢他们在过程中对企业家给予完全的自主权,耐心地等待。”

在浦东这片地区的培育下,王晖带领盛美半导体在张江埋头研发,凭借着一股追求技术极致的执着,经过8年的不懈努力,最终实现兆声波气泡内爆破坏理论的突破,研制出了颠覆性的无损伤兆声波清洗技术TEBO。

TEBO技术最近在Sematech(半导体制造技术协会)的Finfet结构上,取得了无损伤清洗的验证。目前,盛美正在与多家客户进行洽谈,该技术在未来的市场化道路上前途一片光明,浦东如今也迎来了与盛美半导体分享成果的喜悦阶段。

2017年,盛美在美国纳斯达克上市,打破了15年来国际上没有设备企业在纳斯达克上市的沉寂也代表中国半导体设备企业登上了美国资本市场的尖峰。

而在此之前,在清洗设备市场领域,主要由美国、日本、奥地利的公司所控制,盛美成功进入了被欧美国家垄断的国际细分市场。

王晖说:“目前,我们的主力研发团队还是在张江,这意味着海外投资者认可的是中国的技术。”

盛美半导体是一个开端,从全球半导体产业的发展趋势来看,中国市场的地位正在崛起,未来一半以上的集成电路市场都将集中在中国。而国家近年来对于半导体产业的大力推动,也让中国的半导体企业看到了机会。

在浦东,像王晖这样的科创先行者还有很多很多,我们将陆续为大家介绍。5月30日,由浦东新区科学技术协会主办,浦东新区广播电视台承办的2019年浦东新区“全国科技工作者日”主题活动,邀请大家共同聆听浦东科技先锋背后的故事!

在此,我们向新区的科创先锋致以崇高敬意!

· 2019-04-28 21:25  本新闻来源自:浦东科协,版权归原创方所有

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